ما هو فرن السيليكون الفوقي، آلة التنظيف الرطب، فرن الأكسدة

0040-02544 الجزء العلوي من الجسم، Dps Meta

0040-01973 REV.004 إشعاع الغرفة السفلي 200 مم RTPw

 

ما هي استخدامات أفران السيليكون الفوقي وآلات التنظيف الرطب وأفران الأكسدة؟
يتم استخدام أفران السيليكون الفوقي لتنمية طبقة فوقية من السيليكون أحادي البلورة عالية الجودة على سطح رقاقة السيليكون أحادية البلورة، أي رقائق السيليكون الفوقي. تتميز رقائق السيليكون الفوقي بخصائص مقاومة الجهد العالي وانخفاض المقاومة، وتستخدم بشكل أساسي لإعداد أجهزة الطاقة مثل MOSFETs وIGBTs والترانزستورات، بالإضافة إلى الرقائق التناظرية مثل مستشعرات الصور CMOS (CIS) ورقائق إدارة الطاقة (الشركات PMIC).
تُستخدم آلات التنظيف الرطب لإزالة الشوائب، والجسيمات، والمواد العضوية من سطح الرقاقة لضمان سطح رقاقة السيليكون النظيف، وتستخدم بشكل شائع بعد عمليات مثل الطباعة الحجرية، والحفر، وCMP، وزرع الأيونات. تحتاج جميع الرقائق تقريبًا إلى التنظيف في عملية التصنيع، وينقسم التنظيف بالطبع إلى تنظيف البلازما والتنظيف الرطب، وتنظيف البلازما هو طريقة جافة، والتنظيف الرطب يتطلب مشاركة السائل.

يتم استخدام فرن الأكسدة لإنتاج طبقة كثيفة من أكسيد السيليكون (SiO2) على سطح رقاقة السيليكون، والتي تستخدم بشكل عام لبوابات الأنفاق، وأكسدة البوابة، ومنصات الأكسدة لعزل الأكسدة المحلية للسيليكون (LOCOS Pad Oxide)، وإخفاء الأكسدة، والمجال الأكسدة، الخ.

ما هو مبدأ فرن السيليكون الفوقي، آلة التنظيف الرطب، فرن الأكسدة؟

كما هو موضح في الشكل أعلاه، يوفر نوع من الفرن الفوقي السيليكون درجة الحرارة العالية المطلوبة من خلال التسخين بالمصباح أو المقاومة، ويحقن SiHCl₃ وزرنيخيد الهيدروجين (AsH₃) وغاز الهيدروجين الحامل (H₂) في الفرن، ويتحلل الغاز عند درجة حرارة عالية، ويشكل السيليكون سيليكونًا أحادي البلورة على سطح الرقاقة، أي طبقة السيليكون الفوقي. يتم دمج الدوبان مثل الزرنيخ في الشبكة البلورية لتغيير الموصلية.

كما هو موضح في الشكل أعلاه، فهو عبارة عن عامل تنظيف رطب من نوع المقعد الرطب، المقعد الرطب هو جهاز يستخدم للتنظيف والحفر في عملية تصنيع أشباه الموصلات، ويتم وضع الرقاقة في خزان يحتوي على محلول كيميائي، وتتم إزالة الملوثات السطحية من خلال التفاعل الكيميائي، ثم يتم شطف الماء منزوع الأيونات وتجفيفه بعد اكتمال التنظيف، ويمكن تحقيق غرض التنظيف الرطب.

كما هو موضح في الصورة أعلاه، فهو عبارة عن فرن أكسدة عمودي. هناك عدة طرق للأكسدة، مثل الأكسجين الجاف، الأكسجين الرطب، أكسدة TEOS، وما إلى ذلك، هنا خذ أكسدة الأكسجين الجاف كمثال، درجة حرارة الأكسدة في فرن الأكسدة تتراوح بين 800 درجة و 1200 درجة، الأكسجين (O₂) هو يتم تمريرها إلى فرن الأكسدة، ويتم وضع رقاقة السيليكون على قاعدة الكوارتز (قاعدة الكوارتز)، وتعزز بيئة درجة الحرارة المرتفعة في الفرن التفاعل الكيميائي بين الأكسجين والسيليكون (Si) على سطح رقاقة السيليكون لتوليد فيلم SiO2 .
فرن السيليكون الفوقي، آلة التنظيف الرطب، فرن الأكسدة في الداخل والخارج؟
فرن السيليكون الفوقي
في الخارج: معدات الأمراض القلبية الوعائية بالولايات المتحدة، GT بالولايات المتحدة، France Soitec، France AS، المواد التطبيقية بالولايات المتحدة.

محلي: المعهد الثامن والأربعون لمجموعة تكنولوجيا الإلكترونيات الصينية، شركة Hefei Kejing لتكنولوجيا المواد المحدودة
آلة التنظيف الرطب

في الخارج: لام، تل، أمات، سكرين الخ.

المحلي: كثير
فرن الأكسدة

في الخارج: لام إلخ.
المحلي: نورا وما إلى ذلك