ما هو المعالجة المطلوبة لطلاء الرقاقة؟

 

الهدف الأساسي لمعالجة طلاء الرقاقة

قم بإزالة الشوائب ، وإزالة المادة العضوية ، وطبقة الأكسيد ، والغراء المتبقي وغيرها من التلوث

ينشط السطح ، ويعزز توصيل طبقة البذور ، ويعزز تخفيض النحاس

يحسن قابلية التبلل ، ويمنع فقاعات الهواء من التسكع في الآبار/الأسطح ، ويسمح بملء السوائل

0020-33806 غرفة DPS + POLY

ما هي العلاجات قبل الطلاء؟

خذ النحاس المنبثقة ، على سبيل المثال

ASHING ، وظيفة البلازما .

التنظيف الرطب ، حيث يتم غمر الويفر في حمض الهيدروكلوريك المركز أو المخفف لإزالة طبقة أكسيد النحاس . يتأكسد النحاس قليلاً في الهواء ، مما يزيد من التصاق الطلاء ويتجنب التسرب .

في بيئة غرفة نظيفة ، لا يحتوي سطح الرقاقة عمومًا على بقع زيت ، لذلك من السهل إجراء المعالجة المسبقة على بقع الزيت .

 

نهاية